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代理德國(guó)Thyracont皮拉尼真空計(jì)VSP63赫爾納供應(yīng)
公司簡(jiǎn)介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國(guó)Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國(guó)的真空測(cè)量設(shè)備制造企業(yè)。該公司始于1970年，致力于真空測(cè)量技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)，其產(chǎn)品對(duì)許多未來(lái)技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。Thyracont的業(yè)務(wù)涵蓋真空傳感器、真空計(jì)、真空開關(guān)、控制器及相關(guān)真空組件的供應(yīng)，并為真空泵和真空處理設(shè)備制造商提供產(chǎn)品。其產(chǎn)品應(yīng)用于流程工業(yè)、涂層、分析與研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽(yáng)能等多個(gè)領(lǐng)域。
Thyracont主要產(chǎn)品類型
1. 真空計(jì) (Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guān) (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 數(shù)字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系統(tǒng)控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號(hào)
1. VSP63 系列 (皮拉尼真空傳感器/變送器，含VSP63D, VSP63DL, VSP63E, VSP63MV, VSP63MA4等型號(hào))
2. VD8系列 (便攜式數(shù)字真空計(jì)，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (冷陰極真空計(jì))
4. VD6 (單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC (電子真空開關(guān))
7. Smartline系列 (數(shù)字真空變送器，如VSP63D)
8. VD800 (緊湊型真空計(jì))
代理德國(guó)Thyracont皮拉尼真空計(jì)VSP63產(chǎn)品介紹
VSP63是Thyracont公司生產(chǎn)的一款皮拉尼（Pirani）原理的真空傳感器/變送器，用于從粗真空到中真空范圍的絕對(duì)壓力（Absolute Pressure） 測(cè)量。該系列包含多種型號(hào)（如VSP63MV, VSP63MA4, VSP63D, VSP63DL, VSP63E），適配不同接口和功能需求。
技術(shù)參數(shù)
特性 | 參數(shù)值 |
測(cè)量原理 | 皮拉尼（Pirani），基于氣體導(dǎo)熱性，讀數(shù)取決于氣體類型 |
測(cè)量范圍 | 1000 – 1×10?? mbar (1000 – 0.0001 mbar) / 750 – 1×10?? Torr |
精度 | 1000-20 mbar: 約讀數(shù)的30%、20-0.002 mbar: 讀數(shù)的10% |
重復(fù)性 | 20-0.002 mbar: ±2% F.S. |
輸出信號(hào) | VSP63MA4: 4-20 mA (兩線制，對(duì)數(shù)); VSP63MV: 0-10 VDC (對(duì)數(shù), 測(cè)量范圍1.5-8.5 V); VSP63D/DL: 0-10 V & RS485; VSP63E: EtherCAT或Profinet |
供電電源 | VSP63MV/MA4: 15-30 VDC; VSP63D/DL/E: 20-30 VDC |
響應(yīng)時(shí)間 | < 200 ms (VSP63MV/MA4) 或 < 100 ms (VSP63D系列) |
真空接口 | DN 16 ISO-KF 小法蘭 (VSP63MV/MA4/D/DL) 或 DN 16 CF-F (VSP64系列) |
接觸真空材料 | 不銹鋼 1.4307, 鎢, 鎳, 玻璃 |
過(guò)載保護(hù) | 可達(dá) 10 bar (16 bar 可選 CERT31P) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
防護(hù)等級(jí) | IP54 (VSP63MA4, VSP63E); IP40 (VSP63MV, VSP63D/DL) |
電氣連接 | VSP63MV: Hirschmann, 6針; VSP63MA4: M12 A, 5針; VSP63D/DL: Sub-D 15針; VSP63E: M12 |
重量 | 約 98 g (VSP63MV) |
工作原理
VSP63采用皮拉尼（Pirani）原理進(jìn)行真空度測(cè)量。其核心是一個(gè)耐用的螺旋燈絲（通常是Elastic Pirani螺旋燈絲）。工作時(shí)，燈絲被加熱（部分型號(hào)采用脈沖加熱方式）。處于真空環(huán)境中的氣體分子濃度會(huì)影響燈絲的熱傳導(dǎo)效率：壓力越高（真空度越低），氣體分子越多，帶走的熱量越多，燈絲溫度降低，其電阻值相應(yīng)變化；壓力越低（真空度越高），氣體分子越少，帶走的熱量越少，燈絲溫度升高，電阻向相反方向變化。通過(guò)微處理器檢測(cè)燈絲電阻的這種變化，并經(jīng)過(guò)優(yōu)化的溫度補(bǔ)償處理，即可計(jì)算出對(duì)應(yīng)的壓力值。需要注意的是，該原理的測(cè)量結(jié)果依賴于氣體的導(dǎo)熱系數(shù)，因此讀數(shù)會(huì)受到測(cè)量氣體種類的影響。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
1. 較寬的測(cè)量范圍與分辨率：能夠測(cè)量從1000 mbar到0.0001 mbar的寬范圍真空度，并在粗真空范圍內(nèi)也具有較高的分辨率。
2. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與防護(hù)性：采用金屬密封的不銹鋼測(cè)量元件和堅(jiān)固的金屬外殼，集成金屬篩網(wǎng)可防止油或溶劑蒸氣等污染燈絲，并具備較高的過(guò)壓保護(hù)能力（可達(dá)10 bar，可選16 bar）。
3. 測(cè)量穩(wěn)定性與溫度補(bǔ)償：采用微處理器控制和優(yōu)化的溫度補(bǔ)償技術(shù)，有助于減少環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，提供較好的測(cè)量重復(fù)性。
4. 工業(yè)適用性與接口豐富：提供工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬輸出信號(hào)（4-20 mA 或 0-10 V）或數(shù)字接口（如RS485, EtherCAT, Profinet），便于連接PLC或控制系統(tǒng)。部分型號(hào)傳感器頭可更換，維護(hù)便捷。
主要應(yīng)用
VSP63真空傳感器可應(yīng)用于多個(gè)需要真空測(cè)量與控制的領(lǐng)域，例如：
1. 真空鍍膜與涂層系統(tǒng)：用于監(jiān)控鍍膜工藝過(guò)程中的真空度。
2. 真空爐與熱處理：用于真空爐中的壓力監(jiān)控，確保工藝環(huán)境符合要求。
3. 冷凍干燥設(shè)備：用于監(jiān)控冷凍干燥過(guò)程中的真空條件。
4. 泄漏檢測(cè)系統(tǒng)：用于檢測(cè)真空系統(tǒng)的密封完整性。
5. 分析儀器與過(guò)程工程：用于各類分析儀器（如質(zhì)譜儀）和化工過(guò)程設(shè)備中的真空測(cè)量。
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